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  良率高

  自有專利的流程設(shè)計帶來量產(chǎn)中高的良率，鍍膜均勻性好。
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  石英管周期長

  通過特殊設(shè)計的石英管固定方式和低的耗氣量，實現(xiàn)6個月的使用周期。
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  溫場穩(wěn)定

  通過合理的加熱絲布局，具有較好一致性好和可控性，從而使溫場穩(wěn)定可控。

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